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ATR模式包括ATR單點(diǎn)物鏡與ATR成像附件兩種測(cè)量方式。如果使用ATR單點(diǎn)物鏡進(jìn)行成像分析，每次只能測(cè)量與內(nèi)反射晶體接觸的一個(gè)像素，然后使晶體與樣品脫離，移動(dòng)樣品使內(nèi)反射晶體接觸下一個(gè)像素并進(jìn)行測(cè)量，直到獲得所有像素的光譜。很明顯的問(wèn)題是，內(nèi)反射晶體與樣品接觸后很容易被污染，影響后續(xù)像素測(cè)試結(jié)果的準(zhǔn)確性，而且所有像素逐個(gè)測(cè)量的方式非常耗時(shí)。如果使用ATR成像附件，內(nèi)反射晶體與所測(cè)樣品一起固定在樣品臺(tái)上，二者之間沒(méi)有相對(duì)位移，避免了晶體污染造成的測(cè)量誤差。樣品臺(tái)同步移動(dòng)內(nèi)反射晶體與所測(cè)樣品，改變紅外光束在內(nèi)反射晶體上的入射位置，完成所有像素的測(cè)量。由于可以使用陣列檢測(cè)器，ATR成像的測(cè)試速度也非?？?。但是，受到內(nèi)反射晶體尺寸的影響，ATR成像的測(cè)試面積比較小(目前儀器上通常配備的反射晶體的直徑為500 mm，zui大可以定制直徑為2 mm的晶體，但應(yīng)同時(shí)考慮檢測(cè)器、軟件等因素)。此外， ATR單點(diǎn)物鏡與ATR成像附件有個(gè)共同的問(wèn)題：該方法只能測(cè)量距離內(nèi)反射晶體表面幾個(gè)微米深的樣品部分;在樣品表面與內(nèi)部不一致時(shí)，該方法獲得的一般只是表面信息。    

 

空間分辨率是指被測(cè)試的樣品采用顯微紅外“見(jiàn)到”的zui小測(cè)試面積。采用紅外顯微光譜儀器的可見(jiàn)光顯微系統(tǒng)對(duì)樣品進(jìn)行觀察，選擇感興趣的測(cè)試區(qū)域，然后將其劃分成若干個(gè)采樣微區(qū)，通常將這些采樣微區(qū)稱為“像素(pixel)”。像素的尺寸是由儀器測(cè)試能力與樣品表征要求共同決定的。較小的像素尺寸可以提高測(cè)試結(jié)果的空間分辨率，但是光譜信噪比會(huì)降低，測(cè)量相同面積的區(qū)域時(shí)所需時(shí)間也要增加。 

   

由于紅外光波長(zhǎng)較長(zhǎng)，易產(chǎn)生衍射現(xiàn)象，不能像可見(jiàn)顯微鏡將樣品放大至1 mm甚至更小，一般常規(guī)的紅外圖像系統(tǒng)空間分辨率極限在6 mm左右，所獲得的紅外指紋圖譜為6′6 mm區(qū)域的信息集合。

    

若要提紅外成像系統(tǒng)的空間分辨率，可以考慮選擇衰減全反射(ATR模式)。由于常規(guī)紅外光譜透射或反射成像時(shí)物鏡與樣品之間的介質(zhì)為空氣，而ATR模式中物鏡與樣品之間的折射率更高的內(nèi)反射晶體為介質(zhì)，因而光束半徑可以更小，即成像測(cè)試時(shí)的空間分辨率更高。例如，鍺的折射率是空氣的4倍，因此以鍺作為內(nèi)反射晶體時(shí)，ATR模式的空間分辨率比常規(guī)透射或反射模式高4倍左右。所以，在儀器廠家的宣傳中可見(jiàn)ATR模式空間分辨率為1.56 mm的說(shuō)法，應(yīng)特別注意，此時(shí)為其名義空間分辨率，或稱像素空間分辨率，而非實(shí)際真正的空間分辨率。